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6代线(1850x1500mm) 面板级辊对版纳米压印光刻设备 下一条 上一条 < 返回

GL P6 R2P
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GL P6 R2P是天仁微纳新型全自动面板级辊对版(Roll to PLate)全幅高精度紫外纳米压印光刻设备,可在G6面板(1850x1500mm)上实现高精度的微纳结构复制。根据客户工艺需求,可以灵活配置包含Plasma表面处理、增粘剂(Primer)涂布、烘烤、Inkjet/Slit Coating压印胶涂布、R2P纳米压印、Photomask对准曝光、喷淋显影、清洗、后处理等工艺模块。

压印过程使用复合工作模具(Working Stamp),工作模具具有精度高、寿命长等特点,可以显著降低大面积纳米压印工艺中模具使用成本。工作模具采用卷料供应方式,可在设备中直接原位复制使用,也可使用天仁微纳大幅面辊对辊纳米压印光刻设备成卷批量制造,适合连续生产。压印胶固化使用LED准直光面光源,相比于线光源固化,面光源可显著提高产能,同时可配合Photomask对准曝光和喷淋显影等功能,在面板生产中灵活准确定义产品尺寸,精确控制产品边缘形貌。

各工艺模块之间由机械手连接,精密配合、全自动连续生产,产能可达40片每小时。GL P6 R2P纳米压印光刻设备适用于微透镜阵列、裸眼3D、AR/VR、LCD增亮膜以及电子纸等显示领域的研发和量产。

主要功能

  • G6代线(1850mmx1500mm)全自动面板级全幅高精度紫外纳米压印光刻设备;

  • 辊对版(R2P)纳米压印方式,确保大面积压印结构精度与填充完整性;

  • 工作模具采用卷料供应方式,可在设备中直接原位复制使用,也可使用天仁微纳大幅面辊对辊(R2R)纳米压印光刻设备成卷批量制造,适合连续生产;

  • 标配准直紫外LED面光源(365nm),水冷冷却、特殊功率以及特殊、混合波长光源可订制,完美支持各种商用纳米压印材料与制程;相比于线光源固化,面光源可显著提高产能;

  • 掩模版Photomask对准曝光功能,可选择性局部固化压印胶,灵活准确定义产品尺寸;

  • 搭配喷淋显影功能,可精确控制产品边缘形貌;

  • 可根据客户需求选择Inkjet/Slit Coating涂布方式;

  • 各工艺模块之间由机械手连接,精密配合、全自动连续生产,产能可达40片每小时;

  • 提供从设备客制化、厂务配套设计、材料选型与工艺流程联合开发、设备安装调试一直到驻厂陪同客户产品通线全周期保姆式服务,帮助客户零门槛达到国际领先的纳米压印水平。

设备照片

GL P6 R2P.jpg

相关参数

兼容基底尺寸

G6:1850x1500mm

向下兼容G5、G4.5

特殊规格可定制

支持基底材料

兼容玻璃、塑料、金属等各种刚性、柔性基底

基底上下片/转运方式

机械手自动上下片/转运

工作模具

卷料供应方式

可在设备中原位复制

也可使用天仁微纳辊对辊压印设备批量生产

纳米压印技术

辊对版紫外纳米压印(R2P UV-NIL)

压印精度

优于50纳米*

紫外固化光源

紫外LED(365nm)面光源,准直光源,水冷冷却

自动压印

支持

自动脱模

支持

掩模版Photomask对准曝光

支持

产能

G6(1850mmx1500mm)基底可达40片/小时*


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