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研发型Desktop纳米压印光刻设备 下一条 上一条 < 返回

UniPrinter
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UniPrinter是一种专门为大学、科研院所和企业产品研发所设计,操作简单、功能强大的台面型纳米压印光刻设备。

可实现4英寸以下晶圆面积上高精度(优于10nm *)、高深宽比(优于10:1 *)纳米结构压印,适合用作紫外纳米压印光刻工艺开发,器件原型快速验证,纳米压印材料测试等研发。它沿用天仁微纳量产型纳米压印设备的工艺与材料体系,在该设备上开发的工艺可以无障碍转移到天仁微纳量产设备上进行生产。 UniPrinter纳米压印设备适用于DOE、AR/VR衍射光波导(包括斜齿光栅)、线光栅偏振、超透镜、生物芯片、LED等应用领域的研发。


主要功能

  • 沿用天仁微纳量产型纳米压印设备的工艺与材料体系,开发的工艺可以无障碍转移到量产设备上进行生产;

  • 直径100mm以下晶圆高精度、高深宽比结构纳米压印光刻;

  • 设备内自动复制柔性复合工作模具;

  • 自动压印、自动曝光固化、自动脱模,工艺过程无需人工干预;

  • 标配高功率紫外LED面光源(365nm,光强>300mW/cm2),完美支持各种纳米压印材料;

  • 随机提供全套纳米压印工艺与材料,包括DOE、AR斜齿光栅、高密度、高深宽比结构等工艺流程,帮助客户零门槛达到国际领先的纳米压印水平。


设备照片

UniPrinter小.jpg

相关参数

兼容基底尺寸

直径≤100mm晶圆(特殊尺寸基底可定制)

支持基底材料 硅片、玻璃、石英、塑料、金属等
纳米压印技术

紫外纳米压印(UV-NIL),适合高精度、高深宽比纳米结构压印

压印精度 优于10nm*
结构深宽比 优于10:1*
残余层控制 可小于10nm*
紫外固化光源 紫外LED(365nm)面光源,光强>300mW/cm2
自动压印 支持
自动脱模 支持
自动工作模具复制 支持
上下片方式 手动上下片


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