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本设备主要用于胶体旋涂，烘烤等工艺。
本设备主要用于胶体旋涂，烘烤等工艺。
主要功能
设备图片
设备参数
主要功能
●适用于最大300mm直径以下圆片或者9英寸方片旋涂匀胶与烘烤工艺
●最大转速5000rpm
●自动供胶系统、EBR、BSR
●气流控制保证旋涂均匀性
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