本设备主要用于胶体旋涂，烘烤等工艺。
全自动纳米压印光刻预处理设备，自动上下片，包含基底清洗、匀胶、烘烤和冷却功能。
本设备主要应用于活化，提升附着力和清洗等工艺。
本设备主要用于晶圆清洗等工艺。
UniCoater是一种桌面型旋涂匀胶设备。
UniHotplate是一种桌面型热板
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