由麦姆斯咨询主办，上海传感信息科技有限公司和华强电子网协办的《第34期“见微知著”培训课程：MEMS制造工艺》，于2021年6月25日至6月27日在无锡圆满落幕！天仁微纳董事长冀然受邀担任此次培训课程讲师，为学员讲授《晶圆级光学制造工艺》。

课程伊始，冀然老师从集成电与集成光的共通之处入手，借鉴摩尔定律的发展规律和经验，讲述集成光的发展趋势。而后，冀然老师为学员介绍了晶圆级光学制造工艺的原理与流程，以及对应的晶圆级光学元件（WLO）所用的单项工艺，如点胶、压印、固化、脱模和刻蚀等。随后，冀然老师为学员介绍了晶圆级光学加工的产品形态，如传感器、摄像头、照明领域等。通过对结构尺寸、结构精度、质量一致性以及生产成本这四方面的详细解释，学员更加清楚的了解晶圆级光学的加工优势。冀然老师对关键制造工艺进行了详细介绍，其中包括：光刻工艺流程、激光直写光刻、双光子聚合光刻、电子束直写光刻、激光干涉光刻、单点金刚石车削加工、热回流技术以及玻璃热回流技术。冀然老师着重讲解了每种工艺的关键技术点和实践中容易出现的问题，让学员感到收获颇丰！随后，冀然老师深度解读了微光学元件中热门的纳米压印光刻技术，对其技术要点、实现目的、工艺流程以及所用设备和材料进行了深入挖掘，并且介绍了目前纳米压印光刻技术的应用领域，对其中热门领域下一个万亿级市场增强现实（Augmented Reality，AR）的发展趋势进行了深入的讲解。接着冀然老师为学员展示了天仁微纳公司几款纳米压印设备的演示视频，视频内容结合前面所提到的理论知识，使学员对纳米压印技术有了更深刻的理解。最后，冀然老师就目前纳米压印光刻技术的发展趋势，对中国晶圆级光学制造产业链及加工能力进行了详细的介绍。

冀然老师授课精彩瞬间

课程结束后冀然老师与学员们探讨交流