随着增强现实(AR)眼镜的应用场景逐渐增多,AR眼镜的佩戴舒适性和功能要求也越来越高。在众多AR光波导方案中,表面浮雕光栅(SRG)可以将镜片做到最轻薄,而且有成熟的量产工艺。表面浮雕光栅的原理是在玻璃片上制作一层纳米级的光栅结构,用来实现所需的光波导效果。如果使用光刻刻蚀或者机加工的方法来加工这些纳米级光栅,成本高,耗时长。纳米压印光刻是唯一可以实现低成本,高效率量产的加工技术。
青岛天仁微纳科技有限责任公司(Germanlitho)是专业的纳米压印光刻设备和解决方案提供商,致力于拓展纳米压印光刻技术在创新产品领域的应用,为客户提供纳米压印光刻整体解决方案,助力客户实现创新技术到产品的转化。
AR衍射光波导的加工对于纳米压印光刻设备和压印材料要求很高,因此,天仁微纳与DELO公司针对光波导量产方案进行了深入研究。在天仁微纳自主研发的GL300 Cluster全自动纳米压印光刻生产线上,通过使用DELO紫外固化高折射率纳米压印胶材料,实现了300mm直径晶圆级衍射光波导纳米光栅结构的压印过程,结构填充完整,且压印过程具有可重复性和均匀性,这一合作成功验证了大规模生产光波导的可能性。
天仁微纳受DELO 邀请,于3月23日,一起登录直播研讨会,展开技术探讨。
本期研讨会主题
-可用于纳米压印光刻技术(NIL)的设备有哪些?
-AR衍射光波导的母版和拼版是如何工作的?
-AR衍射光波导制造的挑战有哪些?
-用于NIL纳米压印的高折射率聚合物具有哪些特性?
-在300mm晶圆上大规模生产AR衍射光波导的前景如何?
-用于生产AR衍射光波导的其他聚合物方案有哪些?
演讲嘉宾
冀然 博士,天仁微纳 董事长
Stephan Prinz 博士,DELO 产品经理
主持人
陈永乐,DELO 产品经理
直播时间:3月23日,15:30
DELO直播课堂
点击链接,报名本次直播
https://live.vhall.com/v3/lives/watch/941284735?lang=1